從「菜市場」管到「晶圓廠」…經濟部揭秘台灣半導體製程跨入奈米級的幕後功臣是它

經濟部標準局長陳怡鈴今（21）日表示，標準局業管國家度量衡標準，就像「空氣」一樣，看似感受不到它的存在，卻又無所不在，而且不能沒有。舉凡菜市場的磅秤，到股票交易、搶演唱會票、搭計程車、測速照像、酒測，都需要藉由科學論述訂定國家標準；創新量測技術的「X光關鍵尺寸量測系統」，更是助力台灣半導體晶圓大廠進入奈米級的幕後功臣。

標準局今天舉行記者會，說明如何以精準量測技術支持產業、守護民生的幕後功臣；現場更展出價值100萬歐元、約新台幣3,700萬1顆的「矽晶球」複製品。

標準局度量衡行政組長龔子文表示，我國唯一1顆「矽晶球」原件存放在國家標準實驗室，是精確到小數點後第8位數的「1公斤」。另外，原子鐘群（銫鐘，氫鐘）全球只有9個一級國家實驗室，台灣是其中之一；全球時間是加權平均計算而成，台灣權重位在10至15名之間，代表台灣時間量測很穩又很準。




龔子文也說，國家度量衡標準實驗室已在17個領域，建有133套國家最高標準系統，也已加入國際度量衡委員會相互承認協議，和102個會員體認可，涵蓋全球GDP 98%。

除了民生領域的度量衡標準，標準局也與工研院合作，開發創新量測技術應用；例如與台電公司陸域風機檢測技術，先收集風機運轉時的各種噪音資訊，再結合AI技術，維修人員不用手攀爬到風機機艙，就能判讀風機故障原因，節省巡檢人力與時間。



此外，台灣半導體先進製程能迅速發展，也有創新量術應用的成績。工研院量測中心執行長藍玉屏表示，「X-Ray關鍵尺寸量測系統」確實幫助台灣半導體先進晶片製程進入奈米級，當晶片製造進入奈米級後，傳統光學檢測解析度已遠遠不足，猶如「霧裡看花」，但X-Ray可以看到12吋晶圓內關鍵尺寸，也能監控製程中的污染物，進而改善製程技術，提升良率。

藍玉屏說，早年台灣在半導體領域還不是「老大」時，跟著英特爾採購設備就不會出錯；如今已走到世界領先地位，就要透過自身研發「X-Ray關鍵尺寸量測系統」自行開發先進量測技術。如今半導體走向3D堆疊技術，層層堆疊之下，X-Ray量測系統依然會是最好的檢測工具，由國家標準實驗室持續協助下世代製程開發，也能確保關鍵技術留在國內。

邁向量子時代，藍玉屏也透露，未來若有一些屬於量子的量測儀具，包括感測器等，也是正在努力研發的新技術，希望台灣能走在比較前面，當產業進入量子時代後，台灣的發展也會比較快。